東芝ソリューション(梶川茂司社長)は2月26日、半導体製造の品質管理強化を図るSPC(統計的工程管理)機能を開発、工程進捗管理パッケージ「LotViewer」のオプション製品として3月に発売すると発表した。発売後3年間で5億円の売上を目指す。

 新機能は、JIS規格や独自ルールで事前設定した監視マスタに従い、製造工程の製品や装置の品質情報をリアルタイムに監視。ロットの異常を検出した場合に、工程進捗管理機能の「LotViewer」へ通知し、マスタ設定に応じた処理を施す。ユーザーは、不良品が増加する前に作業工程を停止して対策を施すことができるため、製品の歩留まり向上に役立てることができる。

 また、「LotViewer」で蓄積した品質情報を、工場の解析技術者が設定した条件で抽出し、さまざまな形式のグラフを作成することが可能。製品の品質を解析して、気づかない問題の抽出もできる。