ワイ・ディ・シー(YDC、東裕二社長)は5月27日、品質解析ソリューション「YDC SONAR」が、半導体先端テクノロジーズ(Selete、渡辺久恒社長)の装置エンジニアリングデータ分析ツールとして採用されたと発表した。

 Seleteの生産システム技術プログラムでは、半導体量産装置の詳細データを用いて生産性を向上させる研究プログラムに取り組んでいるが、潜在する特定の状況で発生する生産ロスを見える化し、技術的な見解として改善に結びつけるには、長期間のデータ取得と膨大なデータ量を自由に扱えるシステムの導入が不可欠となっていた。

 今回、こうした課題を解決する手段を検討するシステムとして「YDC SONAR」を活用することを決定した。選定の理由としては、(1)国内外を問わず半導体、液晶製造業での実績が豊富である、(2)100万行を超える大量データを高速処理することができる、(3)操作性に優れている--の3点を高く評価したという。

 Seleteでは今後、「YDC SONAR」を用いて、装置から出力されるデータの活用方法を様々な切り口で検証し、量産装置の生産性向上を推進していく方針。