領域で捉えるウェハー不良 ~面内パターン分析と装置情報による原因究明~

テーマ

BI・DWH

日付

2025年06月12日

時間

13:00~13:45

場所

オンライン

概要

半導体製造において、歩留まり低下は常に大きな課題です。
不良の根本原因を特定するには、膨大なウェハーマップデータや製造プロセス情報を多角的に分析する必要があり、多くの時間と労力がかかります。

本セミナーでは、ビジュアルデータサイエンスツール「Spotfire」を活用し、まずウェハーマップ上の不良パターンを面内の領域(中心部、エッジ部など)ごとに分析することで、その特徴を明確化します。
この領域ごとの特徴を利用して効率的にグルーピングし、加工装置との相関分析までをシームレスに行う一連の流れをご紹介いたします。

主催者

NTTコム オンライン・マーケティング・ソリューション株式会社

受講料

無料

詳細・
お申し込み

https://info.nttcoms.com/l/82272/2025-05-20/f1pph2