東芝ソリューション(河井信三社長)は、従来より高速かつ高品質な検査ができ、フィルムや非鉄金属、不織布などのシート状素材に対応した外観検査装置「M9100」を開発し、7月5日に発売した。

 「M9100」は、従来の製品をベースとして、欠陥弁別機能を強化したことに加え、低コントラスト欠陥から微細欠陥まで同時検出を可能にした。高速CCDカメラ(160MHz)の採用によって、従来比4倍の高速検査を実現している。

 新機能によって、製造プロセス上の異常を早期に発見し、弁別された欠陥情報を製造工程へフィードバックすることなど、製造ラインの上流・下流工程と連携させることができ、製造ライントータルの品質向上を支援する。

 価格は最小構成で1200万円から。同社は、製造業のユーザー企業を中心に、今後3年間で100台の販売を見込んでいる。