マイクロマシンセンター、みずほ情報総研、数理システムの3社で構成するMemsONEコンソーシアムは、2月6日、MEMS用設計・解析ソフトウェアの新バージョン「MemsONE Ver.5.0」を発売した。

　「MemsONE」は、MEMSの設計・開発における構造、電磁場、熱伝導などの数値解析機能を備え、動作機構を総合的に検証・評価する「機構解析シミュレータ」、エッチング、マルチプロセスによるMEMS製造プロセスを総合的に検証・評価する「プロセス解析ツール」などに加えて、「プロセス逆問題解析ソフト」「MEMS回路シミュレータ」「ナノインプリント解析シミュレータ」「知識データベース」などから構成するMEMS設計に特化した国内初の統合型シミュレーションシステム。さまざまな分野の技術者や、MEMS製造プロセスに精通していない技術者がMEMSを容易に設計し、迅速に試作評価を行うことができる。

　新バージョンでは、回路シミュレータの機能改善で機構解析の結果から動作特性マクロモデルを抽出し、機構解析と回路解析を有機的に連携させることができるようになった。また、各解析機能のチュートリアルの見直しや材料データベースのユーザー登録・更新機能の改善で、ユーザーの知見と材料物性などのデータを生かすことで、MEMSデバイスの設計・開発にかかるストレスを軽減し、効率のいい設計・開発ができる。

　ユーザーからの要望に応え、プロセス解析にかかわる各種データの追加・拡充、回路解析のMEMS素子モデルの追加、知識データベースの補充などについても改良。今後も機能強化を行うとともにGUIの英語化対応に着手することで、海外を含めてさらに普及展開を図っていく。

　「MemsONE」は、2008年2月にVer1.0をリリースして以来、これまでに約85機関で採用されており、出荷ライセンス数は約250。新バージョン発売によって、Ver.1.0～4.0の導入実績と合わせ、今後1年間で約120機関、400ライセンスを目指す。